Máy sơn bay hơi là một thiết bị dùng để phủ bay hơi chân không, chủ yếu bao gồm bốn phần: buồng chân không, hệ thống xả, hệ thống bay hơi và thiết bị điện.
Buồng chân không là nơi đặt các bộ phận mạ và tiến hành phủ. Nó thường được làm bằng thép không gỉ và có thiết bị làm mát bằng nước. Thiết kế buồng chân không giúp chuẩn bị lớp màng trong chân không, ngăn ngừa sự nhiễm bẩn của vật liệu màng và bề mặt của các bộ phận được mạ, đồng thời loại bỏ va chạm trong không gian, từ đó cải thiện mật độ của lớp phủ và lớp phủ có chức năng đặc biệt một hợp chất duy nhất.
Hệ thống ống xả thường bao gồm một máy bơm cơ khí, một máy bơm khuếch tán, một đường ống và một van, đôi khi một máy bơm tăng áp cơ học được thêm vào để tăng tốc độ bơm.
Hệ thống bay hơi bao gồm nguồn bay hơi và thiết bị điện để làm nóng nguồn bay hơi, được sử dụng để chuyển đổi vật liệu phủ thành các hạt có kích thước nanomet và lắng đọng chúng trên bề mặt màng để tạo thành màng mỏng.
Thiết bị điện bao gồm đo độ chân không, độ dày màng và bảng điều khiển, v.v., được sử dụng để điều khiển máy tính hoàn toàn tự động về nguồn bay hơi, độ dày màng, giai đoạn mẫu và độ chân không, cũng như điều khiển máy tính về vòng quay mẫu và vách ngăn.
Thiết bị này có thể phủ màng mỏng với các chức năng cụ thể trên các sản phẩm bằng nhiều chất liệu khác nhau và được sử dụng rộng rãi trong các bộ phận kết cấu nhựa của điện thoại di động, nhà thông minh, sản phẩm kỹ thuật số, bao bì mỹ phẩm, thủ công mỹ nghệ, đồ chơi, bao bì rượu vang, linh kiện điện tử và các sản phẩm khác.